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设备详细介绍

湿法台

Wet Benches

发布时间：2013-04-13 | 【打印】 【关闭】
 

  型　  号：CETC 13 series

  功　　能：

  • 基片的湿法腐蚀(包括强酸、强碱、HF 酸)
    　 Wet etching of wafers using acids and bases
  • 基片的有机清洗
    　     Organic removal and cleaning of wafers
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